石英退火爐關鍵由爐體、真空系統(tǒng)、料車、冷卻水系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)和電控制系統(tǒng)等構成，接下來為大家敘述下在爐體與發(fā)熱體的特點：

一、爐體：

爐體主要包含爐殼、爐膽隔熱反射面屏、發(fā)熱器、工件支撐點和料盤構成。爐殼為兩層水冷散熱套構造，法蘭盤、內腔、表面及橡膠支座為碳素鋼。筒夾內通過嚴謹?shù)膲毫υ囼灪蜏y漏，具備較好的密封性和溫度可靠性。水套內的冷卻水循環(huán)好，防止爐體溫度不勻稱及其氣溫過高對爐體造成影響害。真空室內腔拋光，確保真空泵加溫系統(tǒng)軟件內潔浄度的一起為加溫系統(tǒng)得到較高真空值給予確保。爐體上的其他配件包含真空泵規(guī)管、制冷氣體回填土閥、充閥門、真空表等。

二、發(fā)熱器：

1、發(fā)熱器原材料挑選：

真空泵加溫的發(fā)燙原材料有兩大類，金屬材質有：鎳鉻合金鐵鎳鐵合金、鉬鎢和鉭等，非金屬材質有碳碳復合材料、高純石墨等。電熱元件材料的選用主要是考慮到石英退火爐較高應用溫度，與此同時要合理挑選真空泵下的電熱材料工作電壓，避免真空泵充放電和電穿透狀況，末后明確合適的電熱材料表層負載。該機器設備較高溫度1550℃，可考量應用鉬、鎢、鉭和石墨材料。但鎢原材料生產加工特性不太好，大容量非晶帶材也是較難生產加工，并且原材料成本相對高。鉭材生產加工特性優(yōu)良，并且應用溫度高，但原料成本費較貴。因為該系統(tǒng)合理工作中空間大，相對應爐體、隔熱保溫屏和發(fā)熱器規(guī)格也非常大，假如運用高純石墨做為發(fā)熱器原材料，爐蓋、隔熱保溫屏和發(fā)熱器規(guī)格會相對應比金屬材料發(fā)熱器的規(guī)格越大，并且價錢高。并且因此該系統(tǒng)軟件采用高溫鉬原材料做為發(fā)熱器原材料。

2、發(fā)熱器產品結構設計：

電熱材料挑選好后，就需要依據(jù)石英退火爐的輸出功率和加溫室形狀、尺寸和類型挑選適宜的發(fā)熱器構造。

為有利于開展溫度均衡性操縱及以后維護保養(yǎng)，在長度方位上采用三段加溫的方式，三段獨立操縱，高溫鉬帶根據(jù)聯(lián)合分布的高溫鉬聯(lián)接件、質量好的隔緣瓷件與爐膽相互連接。在前后左右爐膛沒有發(fā)熱器，為確保均控溫規(guī)格，根據(jù)延長正中間筒部三段發(fā)熱器開展溫度補償。