退火爐是用于制造半導(dǎo)體器件的過(guò)程，該過(guò)程涉及加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。 熱處理旨在達(dá)到不同的效果。 可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)變成薄膜，或者將薄膜轉(zhuǎn)變成晶片襯底界面，制成致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)薄膜的狀態(tài)，注入損傷，移動(dòng)摻雜劑 或移動(dòng)摻雜劑將試劑從一層膜轉(zhuǎn)移到另一層，或從膜轉(zhuǎn)移到晶圓基板。

熱處理爐分為退火爐，淬火爐，回火爐，正火爐和回火爐。 它們主要用于大型碳鋼和合金鋼零件的退火； 表面硬化零件已回火； 用于應(yīng)力消除退火，時(shí)效和焊接零件的其他熱處理工藝。 加熱方法包括電加熱，石油，天然氣，煤炭和熱空氣循環(huán)。 退火爐是一種新型的熱交換設(shè)備。 退火爐是一種具有超節(jié)能結(jié)構(gòu)和纖維結(jié)構(gòu)的節(jié)能定期操作爐，可節(jié)電60％。

退火爐框架由各種鋼材焊接而成，外部框架由槽鋼作為主梁，外圍板由冷板和小車(chē)組成。

槽鋼用作主梁，底板以及前后板為中間板。

退火爐的驅(qū)動(dòng)部分：小車(chē)由電動(dòng)機(jī)和減速器驅(qū)動(dòng)，前輪驅(qū)動(dòng)輪由鏈條驅(qū)動(dòng)。 爐門(mén)由蝸輪蝸桿減速器和電動(dòng)機(jī)組合驅(qū)動(dòng)，以上下移動(dòng)。

密封：小車(chē)和爐體密封成迷宮式結(jié)構(gòu)，小車(chē)兩側(cè)都有自動(dòng)防砂刀密封裝置。 爐門(mén)密封采用輥壓和彈簧壓緊的自動(dòng)機(jī)構(gòu)。 爐體采用耐火磚結(jié)構(gòu)，確保爐腔的氣密性。 手推車(chē)的耐壓部分使用高鋁磚，下部使用隔熱磚進(jìn)行保溫。

退火爐燃燒系統(tǒng)：在油爐的兩側(cè)安裝了多個(gè)燃燒器，熱量在爐內(nèi)循環(huán)以確保均勻的爐溫。 根據(jù)需要選擇自動(dòng)類(lèi)型和半自動(dòng)類(lèi)型。

排氣預(yù)熱裝置：排氣預(yù)熱裝置安裝在爐子的上端。 當(dāng)爐內(nèi)的煙氣通過(guò)預(yù)熱器時(shí)，將風(fēng)扇送至冷空氣進(jìn)行預(yù)熱，然后將管道送至燃燒器進(jìn)行燃燒支撐，并在出口處安裝一個(gè)手動(dòng)蝶閥，該蝶閥可調(diào)節(jié) 爐壓力。 它廣泛用于化學(xué)，石油，食品，冶金，機(jī)械，輕工，電力，造船，造紙，采礦，醫(yī)藥和集中供熱行業(yè)的加熱，冷卻，冷凝，蒸發(fā)和其他過(guò)程。

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