為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內應力及鑄件內從在的殘余應力而進行的退火。遼寧半導體生長爐去應力退火一般在稍高于再結晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關。遼寧半導體生長爐為了防止去應力退火后冷卻時再發生殘余應力，應緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

故障出現后，監控主畫面上方會出現報警提示，根據提示內容可初步判定故障設備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。遼寧半導體生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發生動作。遼寧半導體生長爐出現上述報警后，首先查看報警設備在監控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態。

臺車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結構，從而改善鋼的性能。遼寧半導體生長爐熱處理可以顯著提高鋼的機械性能，延長機器零件的使用壽命。遼寧半導體生長爐恰當的熱處理工藝可以消除鑄、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細化晶粒、消除偏析、降低內應力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺車式退火爐處理的均勻鋼的化學成分及組織，細化晶粒，調整硬度，并消除內應力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準備。生產上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應力退火等。

均勻化退火又稱擴散退火。遼寧半導體生長爐應用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。遼寧半導體生長爐均勻化退火是使合金中的元素發生固態擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內的化學成分不均勻性晶內偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間