不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。沈陽半導體外延生長爐完全退火重結晶退火完全退火應用于平衡加熱和冷卻時有固態相變(重結晶)發生的合金。沈陽半導體外延生長爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區間以上或以內的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過程中各發生一次相變重結晶，故稱為重結晶退火，常被簡稱為退火。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。沈陽半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。沈陽半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。沈陽半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。沈陽半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

在鑄造加熱爐內，進步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴峻影響工件質量。沈陽半導體外延生長爐在熱處理過程中，沈陽半導體外延生長爐假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然冷卻，就能進步鋼的硬度和強度；假如加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進步。金屬或物料加熱時吸收的熱量與供入爐內的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續式爐比間斷式爐的熱效率高，因為連續式爐的出產率高，并且是不間斷作業的。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產物量有關，熱值越高、燃燒產物量越低，燃燒溫度越高。沈陽半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。沈陽半導體外延生長爐空氣過剩系數：適當的空氣過剩系數，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。

該爐是供金屬機件、環件等在額定的溫度下進行熱處理設備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。沈陽半導體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。元件采用北京首鋼產的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。沈陽半導體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統采用PID可控硅控制，精度高。