例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區，即相變溫度區間。廣東半導體生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變為β相的細小晶粒；廣東半導體生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。

球化退火只應用于鋼的一種退火方法。廣東半導體生長爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。廣東半導體生長爐目的在于使珠光體內的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變為球粒狀，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當時間后，較快的冷卻到珠光體轉變溫度區間的適當溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。廣東半導體生長爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當提高加熱溫度。廣東半導體生長爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。廣東半導體生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。廣東半導體生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

鋼的重結晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十攝氏度，保持適當時間，然后緩慢冷卻下來。廣東半導體生長爐通過加熱過程中發生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉變為奧氏體以及冷卻過程中發生的與此相反的第二回相變重結晶，形成晶粒較細、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。廣東半導體生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發生完全的重結晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發生部分的重結晶者，稱為不完全退火。