采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。吉林半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。吉林半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。吉林半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。吉林半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。吉林半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。吉林半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

故障出現后，監控主畫面上方會出現報警提示，根據提示內容可初步判定故障設備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。吉林半導體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發生動作。吉林半導體外延生長爐出現上述報警后，首先查看報警設備在監控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態。