若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。上海半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。上海半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒調整組織，消除組織缺陷。上海半導體外延生長爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或為以后熱處理做組織準備。上海半導體外延生長爐在生產中，退火工藝應用很廣泛。根據被加工金屬件對退火的不同需求，退火的工藝規范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應力退火等。

單位質量/體積的燃料完全燃燒，上海半導體外延生長爐當燃燒產物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。上海半導體外延生長爐依據燃燒產物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態，分為兩種發熱量：高溫發熱量、低位發熱量高位發熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產物中的水蒸汽全部凝結為液態水時所放出的熱量低位發熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產物中的水蒸汽仍以氣態存在時所放出的熱量。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產物量有關，熱值越高、燃燒產物量越低，燃燒溫度越高。上海半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。上海半導體外延生長爐空氣過剩系數：適當的空氣過剩系數，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。