球化退火只應(yīng)用于鋼的一種退火方法。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐目的在于使珠光體內(nèi)的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變?yōu)榍蛄?，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對(duì)工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；沈陽半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，沈陽半導(dǎo)體外延生長爐燃燒產(chǎn)物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等?？諝膺^剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過剩系數(shù)為1.05到1.15。

將鑰匙開關(guān)打開，控制臺(tái)電源接通，電源指示燈和液壓系統(tǒng)指示燈亮。將開關(guān)撥到手動(dòng)位置，手動(dòng)系統(tǒng)電路接通。在不啟動(dòng)油泵的情況下，只能提升和關(guān)閉前、后爐門，或?qū)t門停留在任意位置上。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺(tái)上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐在啟動(dòng)油泵的情況下，不僅可以完成不啟動(dòng)油泵情況下的功能外，還可以使推。拉桿工作，并可使推。拉桿停留在任意位置上，爐門升降、推，拉桿進(jìn)、退均不分前后次序，通過按下前，后爐門旁控制柜和控制臺(tái)上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺(tái)上的鑰匙開關(guān)均為總停，一旦發(fā)現(xiàn)進(jìn)、出料情況異常，應(yīng)立即按下此按鈕或切斷控制電源，以避免或減少事故的發(fā)生。

箱式回火爐外殼由國標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。沈陽半導(dǎo)體外延生長爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。