加熱元件采用高溫合金電阻帶經特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運行中的斷路現象。連云港半導體外延生長爐退火爐的控溫系統采用多區PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動智能調節輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。連云港半導體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達到正負三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。

操作保員到崗后服裝方面應正確穿戴勞保用品。操作退火爐設備前檢查推拉桿機構、爐門升降機構、傳動裝置是否良好，看爐內有無障礙物，箱是否放正確，有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數是否相符。連云港半導體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應停電取出，同時，在爐門上掛禁止合閘警示牌。連云港半導體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中，應做到十不吊的規章制度。要加工或處理后的工件定點存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標準來合理生產。

去應力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應力退火。連云港半導體外延生長爐去應力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉變，主要適用于毛坯件及經過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應力，穩定工件尺寸及形狀，連云港半導體外延生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。連云港半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。連云港半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

當塑料品存在薄和厚位置的連接部位，厚的部位降溫慢、薄的部位降溫快些，則連接處發生不均勻收縮，結果就導致應力集中現象。連云港半導體外延生長爐在有金屬鑲件的四周，這種現象更明顯。連云港半導體外延生長爐剛出模的時候表面上無異常，過段時間，也許是幾天，也許是半年或更長，在外因作用，下溫度，壓力，極性溶液等，應力集中部位會產生裂紋，甚至開裂或者變形。為了消除或減少成型制品中的內應力、避免制品在貯存或應用時產生較大的變形或開裂，對成型后的一些制品要進行退火處理。