退火爐作用是將工件加熱到預定溫度，保溫一定的時間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。上海半導體外延生長爐具體內容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進行切削加工。上海半導體外延生長爐細化晶粒，改善組織以提高工件的機械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準備。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。上海半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。上海半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，上海半導體外延生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。上海半導體外延生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。

風溫水平降低、噴煤效果差5號高爐風溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號高爐擴容改造造成系流煤氣嚴重不足，甚至熱風爐燒爐都不能保證，熱風溫度下降100℃以上，同時5號高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。上海半導體外延生長爐無計劃的頻繁休風2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風口全部灌死，休風10小時。2012年元月19日，4號、10號風口二套燒壞，爐內大量進水，休風6小時處理。上海半導體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風12小時處理，頻繁的無計劃休風，加劇了爐況的惡化。