采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。臺州半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。臺州半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；臺州半導體外延生長爐消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。臺州半導體外延生長爐準確的說，退火是一種對材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設備是退火爐。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產物量有關，熱值越高、燃燒產物量越低，燃燒溫度越高。臺州半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。臺州半導體外延生長爐空氣過剩系數：適當的空氣過剩系數，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。

去應力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應力退火。臺州半導體外延生長爐去應力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉變，主要適用于毛坯件及經過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應力，穩定工件尺寸及形狀，臺州半導體外延生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

故障出現后，監控主畫面上方會出現報警提示，根據提示內容可初步判定故障設備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。臺州半導體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發生動作。臺州半導體外延生長爐出現上述報警后，首先查看報警設備在監控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。臺州半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區間循環加熱和冷卻。臺州半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。