均勻化退火又稱擴散退火。山東半導體外延生長爐應用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。山東半導體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發生固態擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內的化學成分不均勻性晶內偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。山東半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。山東半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

操作者應遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設備接地是否完好；山東半導體外延生長爐如發現電線隔緣皮有破損，定要立向車間領導報告阻止發生觸電事故山東半導體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統中是否有異常現象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉向架烘箱不應越過溫度，否則會縮短設備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉向架上除去太多的氧化物。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。山東半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。山東半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

該爐是供金屬機件、環件等在額定的溫度下進行熱處理設備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。山東半導體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。元件采用北京首鋼產的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。山東半導體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統采用PID可控硅控制，精度高。

依據燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。山東半導體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。山東半導體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。