等溫式退火是應(yīng)用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。福建半導(dǎo)體外延生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內(nèi)，等溫保持直到奧氏體全部轉(zhuǎn)變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；福建半導(dǎo)體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

結(jié)構(gòu)：退火爐爐門采用輕型鋼結(jié)構(gòu)骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動力：爐門采用電動升降，電動葫蘆裝在爐門龍門架上方。福建半導(dǎo)體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機(jī)構(gòu)自動壓緊和軟邊密封裝置，可使?fàn)t門與爐體自動壓緊，確保爐子在生產(chǎn)過程中始終處于密封狀態(tài)，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環(huán)境，保證了爐溫均勻性，增強(qiáng)節(jié)能效果。這種爐門密封裝置結(jié)構(gòu)簡單，安全可靠，維修方便。福建半導(dǎo)體外延生長爐這種機(jī)構(gòu)在近幾年生產(chǎn)的全纖維棉臺車爐中使用效果很好。

調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。福建半導(dǎo)體外延生長爐若旋轉(zhuǎn)感覺很卡，則為機(jī)械故障，若感覺旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。福建半導(dǎo)體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，福建半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。福建半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時所放出的熱量。

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會出現(xiàn)報警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。福建半導(dǎo)體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發(fā)生動作。福建半導(dǎo)體外延生長爐出現(xiàn)上述報警后，首先查看報警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。福建半導(dǎo)體外延生長爐硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。福建半導(dǎo)體外延生長爐罩式退火爐主要用于在自然氣氛中進(jìn)行薄板材退火以及鋼件的正火處理。特殊鋼、精密合金。大型全纖維臺車式電阻爐說明帶材、線材的光亮退火。特殊鋼鑄、鍛件的退火。硅鋼片成品退火。金屬、非金屬粉末壓制作件的燒結(jié)等。