單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐當(dāng)燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時(shí)所放出的熱量一般室溫25攝氏度。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時(shí)生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時(shí)所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時(shí)所放出的熱量。

臺(tái)車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能，延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。

均勻化退火又稱擴(kuò)散退火。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長(zhǎng)時(shí)間保溫，然后緩慢冷卻下來。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴(kuò)散，來減輕化學(xué)成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素?cái)U(kuò)散，盡可能縮短保溫時(shí)間

退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時(shí)間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進(jìn)行切削加工。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐細(xì)化晶粒，改善組織以提高工件的機(jī)械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

箱式回火爐外殼由國標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式回火爐的電熱元件為長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。沈陽半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。