退火爐作用是將工件加熱到預定溫度，保溫一定的時間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。沈陽半導體外延生長爐具體內容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進行切削加工。沈陽半導體外延生長爐細化晶粒，改善組織以提高工件的機械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準備。

例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區，即相變溫度區間。沈陽半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變為β相的細小晶粒；沈陽半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，沈陽半導體外延生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。沈陽半導體外延生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。

一般來講，鉬棒連續使用比斷續使用壽命要長得多，這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。沈陽半導體外延生長爐如果當電熱裝置停止工作，應當保持裝置處于熱狀態沈陽半導體外延生長爐硅鉬棒運行的環境，硅鉬棒在氧化環境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高，表面的氧化速度會越快，壽命會越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯，這樣可以避免由于電阻負荷集中，造成損壞的情況