目前等直徑硅碳棒的生產工藝有兩種，老工藝與新工藝，區別方法在與從燒結方式上。四川半導體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應燒結，新工藝采用的是高溫真空爐燒結。由于埋藏燒制需要用煤，對環境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。四川半導體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產品燒結中會產生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業硅，碳粉等材料。經過成型，烘干，高溫燒結等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝四川半導體外延生長爐將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。四川半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。?

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當時間后，較快的冷卻到珠光體轉變溫度區間的適當溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。四川半導體外延生長爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當提高加熱溫度。四川半導體外延生長爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。四川半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。四川半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。四川半導體外延生長爐加熱元件采用北京首鋼產的高電阻合金布置在爐側。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統采用PID可控硅控制，精度高。四川半導體外延生長爐在闡述這個問題前我們先來了解一下鑄件的生產過程：鑄件是通過加熱鑄件將其在爐內融化成液體金屬澆鑄到與零件形狀相適應的鑄造空腔中，待其冷卻凝固后，獲得具有一定形狀、尺寸和性能金屬零件毛坯。