例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變,低溫為α相密排六方結構),高溫為β相體心立方結構,其中間是“α+β”兩相區,即相變溫度區間。蘇州半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒,也進行重結晶退火,即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度,保溫適當時間,使合金轉變為β相的細小晶粒;蘇州半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來,使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。
連續光亮退火爐用途:用于不同規格銅直管棒、鋼管、鋁管或盤園在控制氣氛下連續光亮退火特點:工件連續通過預熱、加熱、保溫、緩冷、冷卻,不受長度限制。蘇州半導體外延生長爐傳動采用托輥式同步傳動,變頻調速,平穩可靠。蘇州半導體外延生長爐通保護氣氛和強力的熱氣氛循環,溫度均勻,內外表面十分光亮。冷卻區設計獨特,保證工件均勻冷卻。處理的產品內外表面光亮,產品質量高,生產率高。加熱方式:電加熱或燃氣加熱
爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制,可靠性高且運行穩定。蘇州半導體外延生長爐全爐密封效果好,與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。蘇州半導體外延生長爐為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統,將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。
將鑰匙開關打開,控制臺電源接通,電源指示燈和液壓系統指示燈亮。將開關撥到手動位置,手動系統電路接通。在不啟動油泵的情況下,只能提升和關閉前、后爐門,或將爐門停留在任意位置上。蘇州半導體外延生長爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕,即可實現。蘇州半導體外延生長爐在啟動油泵的情況下,不僅可以完成不啟動油泵情況下的功能外,還可以使推。拉桿工作,并可使推。拉桿停留在任意位置上,爐門升降、推,拉桿進、退均不分前后次序,通過按下前,后爐門旁控制柜和控制臺上的按鈕,即可實現。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺上的鑰匙開關均為總停,一旦發現進、出料情況異常,應立即按下此按鈕或切斷控制電源,以避免或減少事故的發生。
若快切閥顯示為黃色,換向閥顯示為紅色X,即是行程不到位,檢查行程是否脫離設備,若無脫離,可打開行程開關,檢查行程內凸輪是否出現不到位情況,適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。蘇州半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一,可判定其行程正常,排查重點在動作部分。檢查動作部分時,先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈,若兩個都不亮,則為電氣故障。蘇州半導體外延生長爐然后,若有一個亮,可把兩插頭取下,用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗,若汽缸不動作,則為機械故障。若汽缸動作,則為電氣故障。