退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。廣西半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。廣西半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

等溫式退火是應用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。廣西半導體外延生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內，等溫保持直到奧氏體全部轉變為片層狀珠光體亞共析鋼還有先共析鐵素體；廣西半導體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內應力及鑄件內從在的殘余應力而進行的退火。廣西半導體外延生長爐去應力退火一般在稍高于再結晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關。廣西半導體外延生長爐為了防止去應力退火后冷卻時再發生殘余應力，應緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

操作保員到崗后服裝方面應正確穿戴勞保用品。操作退火爐設備前檢查推拉桿機構、爐門升降機構、傳動裝置是否良好，看爐內有無障礙物，箱是否放正確，有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數是否相符。廣西半導體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應停電取出，同時，在爐門上掛禁止合閘警示牌。廣西半導體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中，應做到十不吊的規章制度。要加工或處理后的工件定點存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標準來合理生產。