加熱元件采用高溫合金電阻帶經特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運行中的斷路現象。大連半導體外延生長爐退火爐的控溫系統采用多區PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動智能調節輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。大連半導體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達到正負三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。大連半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。大連半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

原燃料質量波動一是大量使用國內低品位劣質礦，燒結礦品位只有百分之四十七，含量有時高達百分之八十五以上，堿金屬含量特高，一般高出標準五倍以上；大連半導體外延生長爐二是退火爐爐料結構變化大，大連半導體外延生長爐二零一二年年元月份球團車間檢修，大量配加低品質馬來西亞塊礦；三是燒結礦質量下降，強度、低溫還原粉化、還原性都變差，同時由于燒結蒸氣不足，混和料溫低，燒結機漏風嚴重，造成燒結礦產量、質量下降。

目前等直徑硅碳棒的生產工藝有兩種，老工藝與新工藝，區別方法在與從燒結方式上。大連半導體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應燒結，新工藝采用的是高溫真空爐燒結。由于埋藏燒制需要用煤，對環境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。大連半導體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產品燒結中會產生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業硅，碳粉等材料。經過成型，烘干，高溫燒結等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。