退火爐作用是將工件加熱到預(yù)定溫度，保溫一定的時間后緩慢冷卻的金屬熱處理工藝。淮安半導(dǎo)體外延生長爐具體內(nèi)容如下：改善或消除鋼鐵在鑄造、鍛壓、軋制和焊接過程中所造成的各種組織缺陷以及殘余應(yīng)力，防止工件變形、開裂。軟化工件以便進行切削加工。淮安半導(dǎo)體外延生長爐細化晶粒，改善組織以提高工件的機械性能。為最終熱處理淬火、回火作好組織準(zhǔn)備。

目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。淮安半導(dǎo)體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹海瑢Νh(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。淮安半導(dǎo)體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

操作管理混亂，經(jīng)驗不足。淮安半導(dǎo)體外延生長爐一是裝料制度變更頻繁，且針對性不強，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動較大，鐵水溫度長期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；淮安半導(dǎo)體外延生長爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動大，料線不統(tǒng)一，手動控制比較多，爐料落點難以規(guī)范，無規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項管理精細化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

該爐是供金屬機件、環(huán)件等在額定的溫度下進行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。淮安半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。淮安半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。