調(diào)節(jié)閥可參考其關(guān)聯(lián)溫度判斷設(shè)備是否工作正常。若出現(xiàn)故障，先關(guān)閉電源控制柜內(nèi)其工作電源，打開現(xiàn)場(chǎng)閥蓋，在確認(rèn)閥內(nèi)模塊不帶電的情況下，用內(nèi)六方扳手旋轉(zhuǎn)閥體。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐若旋轉(zhuǎn)感覺(jué)很卡，則為機(jī)械故障，若感覺(jué)旋轉(zhuǎn)順暢，則為電氣故障。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

操作保員到崗后服裝方面應(yīng)正確穿戴勞保用品。操作退火爐設(shè)備前檢查推拉桿機(jī)構(gòu)、爐門升降機(jī)構(gòu)、傳動(dòng)裝置是否良好，看爐內(nèi)有無(wú)障礙物，箱是否放正確，有無(wú)漏電等。隨時(shí)注意和檢查爐溫與儀表讀數(shù)是否相符。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應(yīng)停電取出，同時(shí)，在爐門上掛禁止合閘警示牌。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐使用行車吊運(yùn)物料工件過(guò)程中，應(yīng)做到十不吊的規(guī)章制度。要加工或處理后的工件定點(diǎn)存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標(biāo)準(zhǔn)來(lái)合理生產(chǎn)。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達(dá)到完全氧化，武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃燒產(chǎn)物中沒(méi)有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒(méi)有完全氧化，燃燒產(chǎn)物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過(guò)剩系數(shù)：燃料完全燃燒需要供應(yīng)一定量的空氣。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐根據(jù)燃燒化學(xué)反應(yīng)方程式計(jì)算出來(lái)的單位燃料完全燃燒時(shí)所需的空氣量為理論空氣量。實(shí)際供應(yīng)的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實(shí)際空氣量。實(shí)際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過(guò)剩系數(shù)。一般氣體燃料的空氣過(guò)剩系數(shù)為1.05到1.15。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐使經(jīng)過(guò)鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學(xué)成分均勻化，去除殘余應(yīng)力，或得到預(yù)期的物理性能。鑄件在冷卻過(guò)程中，積累了大量的內(nèi)應(yīng)力，要通過(guò)退火爐來(lái)消除內(nèi)應(yīng)力。

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當(dāng)時(shí)間后，較快的冷卻到珠光體轉(zhuǎn)變溫度區(qū)間的適當(dāng)溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對(duì)于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當(dāng)提高加熱溫度。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優(yōu)于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

臺(tái)車式退火爐是通過(guò)熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐熱處理可以顯著提高鋼的機(jī)械性能，延長(zhǎng)機(jī)器零件的使用壽命。武漢半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺(tái)車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。