經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時(shí)間，通過(guò)再結(jié)晶使冷變形過(guò)程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強(qiáng)化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐保溫一到三個(gè)小時(shí)空冷，對(duì)含質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于百分之零點(diǎn)二的普通碳鋼，在冷變形時(shí)臨界變形速度若達(dá)百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒調(diào)整組織，消除組織缺陷。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或?yàn)橐院鬅崽幚碜鼋M織準(zhǔn)備。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在生產(chǎn)中，退火工藝應(yīng)用很廣泛。根據(jù)被加工金屬件對(duì)退火的不同需求，退火的工藝規(guī)范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應(yīng)力退火等。

箱式退火爐主要用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規(guī)熱處理之用的專(zhuān)用設(shè)備。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式退火爐特點(diǎn)：電爐裝載量大、生產(chǎn)率高，特別適用于小、中型機(jī)件的熱處理加熱用，節(jié)能達(dá)30%，爐溫均勻，智能數(shù)顯表PID自動(dòng)控制爐溫，精密高；電爐裝御料方便，操作條件好；爐門(mén)與爐體的密封為自動(dòng)密封，無(wú)需人工密封；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐電爐設(shè)有連鎖保護(hù)裝置，可防止因誤操作而發(fā)生的故障及事故。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

操作者應(yīng)遵守臺(tái)車(chē)式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車(chē)間領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告阻止發(fā)生觸電事故廣西半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門(mén)升降情況，臺(tái)車(chē)運(yùn)行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺(tái)車(chē)式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過(guò)溫度，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。