均勻化退火又稱擴散退火。廣東半導體外延生長爐應用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。廣東半導體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發生固態擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內的化學成分不均勻性晶內偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

去應力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應力退火。廣東半導體外延生長爐去應力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉變，主要適用于毛坯件及經過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應力，穩定工件尺寸及形狀，廣東半導體外延生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當時間后，較快的冷卻到珠光體轉變溫度區間的適當溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。廣東半導體外延生長爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當提高加熱溫度。廣東半導體外延生長爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

操作管理混亂，經驗不足。廣東半導體外延生長爐一是裝料制度變更頻繁，且針對性不強，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動較大，鐵水溫度長期在一千四百五十攝氏度以下，硫超標事故經常發生；廣東半導體外延生長爐三是日常操作三班不統一且表現為；風量、風壓不統一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統一，壓差波動大，料線不統一，手動控制比較多，爐料落點難以規范，無規律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項管理精細化程度不夠，制度執行不力。