爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。浙江半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。浙江半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內應力及鑄件內從在的殘余應力而進行的退火。浙江半導體外延生長爐去應力退火一般在稍高于再結晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關。浙江半導體外延生長爐為了防止去應力退火后冷卻時再發生殘余應力，應緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。浙江半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區間循環加熱和冷卻。浙江半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。浙江半導體外延生長爐完全退火重結晶退火完全退火應用于平衡加熱和冷卻時有固態相變(重結晶)發生的合金。浙江半導體外延生長爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區間以上或以內的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過程中各發生一次相變重結晶，故稱為重結晶退火，常被簡稱為退火。