首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護膜，延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中，可以使用涂層用于氣體的爐內。武漢半導體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發熱長度在攝氏度以內。武漢半導體外延生長爐硅碳棒表面的實際功率是由于爐的內溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強度。在使用硅碳棒的時候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運行過程中熱膨脹而造成電源線松弛，應在使用前把電源線接頭擰緊。

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。武漢半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。武漢半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

操作者應遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設備接地是否完好；武漢半導體外延生長爐如發現電線隔緣皮有破損，定要立向車間領導報告阻止發生觸電事故武漢半導體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統中是否有異常現象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉向架烘箱不應越過溫度，否則會縮短設備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉向架上除去太多的氧化物。

鋼的重結晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十攝氏度，保持適當時間，然后緩慢冷卻下來。武漢半導體外延生長爐通過加熱過程中發生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉變為奧氏體以及冷卻過程中發生的與此相反的第二回相變重結晶，形成晶粒較細、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。武漢半導體外延生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發生完全的重結晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發生部分的重結晶者，稱為不完全退火。