箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。常州半導(dǎo)體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。常州半導(dǎo)體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進行的退火。常州半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關(guān)。常州半導(dǎo)體外延生長爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

故障出現(xiàn)后，監(jiān)控主畫面上方會出現(xiàn)報警提示，根據(jù)提示內(nèi)容可初步判定故障設(shè)備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。常州半導(dǎo)體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設(shè)備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發(fā)生動作。常州半導(dǎo)體外延生長爐出現(xiàn)上述報警后，首先查看報警設(shè)備在監(jiān)控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態(tài)。

操作者應(yīng)遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；常州半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報告阻止發(fā)生觸電事故常州半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

單位質(zhì)量/體積的燃料完全燃燒，常州半導(dǎo)體外延生長爐當燃燒產(chǎn)物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。常州半導(dǎo)體外延生長爐依據(jù)燃燒產(chǎn)物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態(tài)，分為兩種發(fā)熱量：高溫發(fā)熱量、低位發(fā)熱量高位發(fā)熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽全部凝結(jié)為液態(tài)水時所放出的熱量低位發(fā)熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產(chǎn)物中的水蒸汽仍以氣態(tài)存在時所放出的熱量。