操作者應(yīng)遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；上海半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報告阻止發(fā)生觸電事故上海半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異?，F(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺車式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。上海半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。上海半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

一般來講，鉬棒連續(xù)使用比斷續(xù)使用壽命要長得多，這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。上海半導(dǎo)體外延生長爐如果當(dāng)電熱裝置停止工作，應(yīng)當(dāng)保持裝置處于熱狀態(tài)上海半導(dǎo)體外延生長爐硅鉬棒運行的環(huán)境，硅鉬棒在氧化環(huán)境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高，表面的氧化速度會越快，壽命會越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯(lián)，這樣可以避免由于電阻負(fù)荷集中，造成損壞的情況

該爐是供金屬機件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。上海半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。上海半導(dǎo)體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。

操作保員到崗后服裝方面應(yīng)正確穿戴勞保用品。操作退火爐設(shè)備前檢查推拉桿機構(gòu)、爐門升降機構(gòu)、傳動裝置是否良好，看爐內(nèi)有無障礙物，箱是否放正確，有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數(shù)是否相符。上海半導(dǎo)體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊，如果鍛件掉在電爐絲旁，應(yīng)停電取出，同時，在爐門上掛禁止合閘警示牌。上海半導(dǎo)體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中，應(yīng)做到十不吊的規(guī)章制度。要加工或處理后的工件定點存放，不得占道，影響車間秩序。遵循5S標(biāo)準(zhǔn)來合理生產(chǎn)。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關(guān)，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。上海半導(dǎo)體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。上海半導(dǎo)體外延生長爐空氣過剩系數(shù)：適當(dāng)?shù)目諝膺^剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風(fēng)中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。