調節閥可參考其關聯溫度判斷設備是否工作正常。若出現故障，先關閉電源控制柜內其工作電源，打開現場閥蓋，在確認閥內模塊不帶電的情況下，用內六方扳手旋轉閥體。淮安半導體外延生長爐若旋轉感覺很卡，則為機械故障，若感覺旋轉順暢，則為電氣故障。淮安半導體外延生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

將工件完全奧氏體化后緩慢冷卻，接近平衡組織的退火。完全退火奧氏體化溫度一般選為Ac3加三十攝氏度到五十攝氏度，對于某些高合金鋼，為使碳化物固溶應適當提高奧氏體化溫度。為了改善低碳鋼的切削性能，可采用九百攝氏度到一百攝氏度的晶粒粗化退火。為了消除亞共析鋼鍛件、鑄件、焊接件的粗大魏氏組織，需將奧氏體化溫度提高到一千一百攝氏度到一千兩百攝氏度，隨后補充進行常規完全退火。?

故障出現后，監控主畫面上方會出現報警提示，根據提示內容可初步判定故障設備，報警具體如下：V101閥位報警、V105閥位報警加熱段煤氣換向報警加熱段空氣換向報警、保溫段煤氣換向報警、保溫段空氣換向報警。淮安半導體外延生長爐其中，V101閥即加熱段煤氣快切閥，V105閥即保溫段煤氣快切閥。每一設備由動作部分和閥位反饋部分組成。動作部分由電磁閥帶氣動元件發生動作。淮安半導體外延生長爐出現上述報警后，首先查看報警設備在監控主畫面上顯示的顏色，確定其狀態。

箱式退火爐主要用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規熱處理之用的專用設備。淮安半導體外延生長爐箱式退火爐特點：電爐裝載量大、生產率高，特別適用于小、中型機件的熱處理加熱用，節能達30%，爐溫均勻，智能數顯表PID自動控制爐溫，精密高；電爐裝御料方便，操作條件好；爐門與爐體的密封為自動密封，無需人工密封；淮安半導體外延生長爐電爐設有連鎖保護裝置，可防止因誤操作而發生的故障及事故。