經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結晶溫度以上，保持適當時間，通過再結晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應和殘余應力的退火。浙江半導體外延生長爐一般鋼材再結晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，浙江半導體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應避免在該范圍內(nèi)變形。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。浙江半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。浙江半導體外延生長爐空氣過剩系數(shù)：適當?shù)目諝膺^剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。浙江半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。浙江半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

依據(jù)燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。浙江半導體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內(nèi)不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。浙江半導體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內(nèi)與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內(nèi)或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內(nèi)或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。