依據燃氣與空氣的混合情況，分為三種燃燒方法。臺州半導體外延生長爐長焰燃燒減去燃氣和空氣在燃燒器內不混合，噴出后靠擴散作用進行邊混合邊燃燒，火焰長。臺州半導體外延生長爐短焰燃燒減去燃氣在燃燒器內與部分空氣一次空氣混合，噴出后燃燒并進一步與二次空氣混合燃燒，火焰較短無焰燃燒－燃氣與空氣在燃燒器內或進燃燒器前完全混合，在燃燒器內或噴出后燃燒，火焰短而透明，幾乎無火焰。

結構：退火爐爐門采用輕型鋼結構骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動力：爐門采用電動升降，電動葫蘆裝在爐門龍門架上方。臺州半導體外延生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機構自動壓緊和軟邊密封裝置，可使爐門與爐體自動壓緊，確保爐子在生產過程中始終處于密封狀態，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環境，保證了爐溫均勻性，增強節能效果。這種爐門密封裝置結構簡單，安全可靠，維修方便。臺州半導體外延生長爐這種機構在近幾年生產的全纖維棉臺車爐中使用效果很好。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。臺州半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。臺州半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

風溫水平降低、噴煤效果差5號高爐風溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號高爐擴容改造造成系流煤氣嚴重不足，甚至熱風爐燒爐都不能保證，熱風溫度下降100℃以上，同時5號高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。臺州半導體外延生長爐無計劃的頻繁休風2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風口全部灌死，休風10小時。2012年元月19日，4號、10號風口二套燒壞，爐內大量進水，休風6小時處理。臺州半導體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風12小時處理，頻繁的無計劃休風，加劇了爐況的惡化。