工件加熱到高于Ac3或Ac1的溫度，保持適當時間后，較快的冷卻到珠光體轉變溫度區間的適當溫度并等溫保持，使奧氏體珠光體組織后在空氣中冷卻的退火。遼寧半導體生長爐等溫退火的奧氏體化溫度一般與完全退火相同，對于合金含量較高的大型鑄鍛件可適當提高加熱溫度。遼寧半導體生長爐等溫溫度越低，退火后的硬度越高。 等溫退火后的組織與硬度均勻性優于完全退火，比較適合于與大型合金鋼鑄件。

當塑料品存在薄和厚位置的連接部位，厚的部位降溫慢、薄的部位降溫快些，則連接處發生不均勻收縮，結果就導致應力集中現象。遼寧半導體生長爐在有金屬鑲件的四周，這種現象更明顯。遼寧半導體生長爐剛出模的時候表面上無異常，過段時間，也許是幾天，也許是半年或更長，在外因作用，下溫度，壓力，極性溶液等，應力集中部位會產生裂紋，甚至開裂或者變形。為了消除或減少成型制品中的內應力、避免制品在貯存或應用時產生較大的變形或開裂，對成型后的一些制品要進行退火處理。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，遼寧半導體生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。遼寧半導體生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。

鋼的重結晶退火工藝是：緩慢加熱到亞共析鋼或共析鋼或過共析鋼以上三十到五十攝氏度，保持適當時間，然后緩慢冷卻下來。遼寧半導體生長爐通過加熱過程中發生的珠光體或者還有先共析的鐵素體或滲碳體轉變為奧氏體以及冷卻過程中發生的與此相反的第二回相變重結晶，形成晶粒較細、片層較厚、組織均勻的珠光體或者還有先共析鐵素體或滲碳體。遼寧半導體生長爐退火溫度在亞共析鋼使鋼發生完全的重結晶者，稱為完全退火，退火溫度在Ac1與Ac3之間 亞共析鋼或Ac1與Acm之間過共析鋼，使鋼發生部分的重結晶者，稱為不完全退火。

例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區，即相變溫度區間。遼寧半導體生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變為β相的細小晶粒；遼寧半導體生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。

加熱元件采用高溫合金電阻帶經特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運行中的斷路現象。遼寧半導體生長爐退火爐的控溫系統采用多區PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動智能調節輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。遼寧半導體生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達到正負三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。