操作保員到崗后服裝方面應正確穿戴勞保用品。操作退火爐設備前檢查推拉桿機構、爐門升降機構、傳動裝置是否良好,看爐內有無障礙物,箱是否放正確,有無漏電等。隨時注意和檢查爐溫與儀表讀數是否相符。蘇州半導體外延生長爐鍛件在底盤上要擺放整齊,如果鍛件掉在電爐絲旁,應停電取出,同時,在爐門上掛禁止合閘警示牌。蘇州半導體外延生長爐使用行車吊運物料工件過程中,應做到十不吊的規章制度。要加工或處理后的工件定點存放,不得占道,影響車間秩序。遵循5S標準來合理生產。
例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變,低溫為α相密排六方結構),高溫為β相體心立方結構,其中間是“α+β”兩相區,即相變溫度區間。蘇州半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒,也進行重結晶退火,即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度,保溫適當時間,使合金轉變為β相的細小晶粒;蘇州半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來,使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。
燃料種類:與燃料熱值及燃燒的產物量有關,熱值越高、燃燒產物量越低,燃燒溫度越高。蘇州半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度:它們的溫度越高,直接帶入的顯熱越多,可提高燃燒溫度。蘇州半導體外延生長爐空氣過剩系數:適當的空氣過剩系數,可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小,不完全燃燒;過大生成的煙氣量多,會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度:提高氧氣濃度,將使燃燒產物減少,可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。
爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制,可靠性高且運行穩定。蘇州半導體外延生長爐全爐密封效果好,與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等,其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室,直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。蘇州半導體外延生長爐為了降低能耗,煤氣退火窯往往配有換熱系統,將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。
化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性,有時也進行球化退火。蘇州半導體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種,可根據具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區間循環加熱和冷卻。蘇州半導體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度,然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼,先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限,隨后以加高速度冷卻以防止網狀碳化物析出工件在一定溫度下變形,然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。