將工件完全奧氏體化后緩慢冷卻，接近平衡組織的退火。完全退火奧氏體化溫度一般選為Ac3加三十攝氏度到五十攝氏度，對于某些高合金鋼，為使碳化物固溶應適當提高奧氏體化溫度。為了改善低碳鋼的切削性能，可采用九百攝氏度到一百攝氏度的晶粒粗化退火。為了消除亞共析鋼鍛件、鑄件、焊接件的粗大魏氏組織，需將奧氏體化溫度提高到一千一百攝氏度到一千兩百攝氏度，隨后補充進行常規完全退火。?

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，上海半導體外延生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。上海半導體外延生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。

通過風機的循環使退火爐的爐腔內溫度分布均勻，退火爐的兩個爐腔室是可以獨自運行的，提高了退火效率，每個爐腔內都有兩臺風機，卻沒有空氣過濾裝置，跟實際情況有出入。上海半導體外延生長爐通過風機循環使爐內溫度分布均勻，通過熱處理重組薄膜材料微觀結構，提高穩定性及轉化效率。上海半導體外延生長爐將鑄件加熱到九百五十攝氏度左右 ，保溫一定時間后適當冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內應力。對于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內應力。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝上海半導體外延生長爐將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。上海半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。?

根據塑料件品種的不同，調節退火溫度。上海半導體外延生長爐把天然氣模殼焙燒爐中成型脫模后的注塑制品放在有一定溫度的加熱介質或有熱空氣循環的烘箱中，加熱到比產品使用溫度高二十度到三十五度或者比產品的熱變形溫度低25-35度的溫度下，將產品放進去。過高溫度中制品要變形，但不能溫度過低，過低溫度退火，不能達到退火效果。上海半導體外延生長爐退火的時間長短要視產品的壁厚而定，越厚的壁要退火的時間越長。熱處理時間達到要求后，制件隨介質一起緩慢自然降溫至室溫。注意，處理后的制品如果用冷水急劇降溫或直接從熱處理介質中取出降溫，制品由于冷卻速度的不同，又會產生新的內應力。