操作者應(yīng)遵守臺(tái)車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細(xì)檢查儀表、熱電偶、電氣設(shè)備接地是否完好；河南半導(dǎo)體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領(lǐng)導(dǎo)報(bào)告阻止發(fā)生觸電事故河南半導(dǎo)體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺(tái)車運(yùn)行正常。嚴(yán)禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進(jìn)入臺(tái)車式退火爐的爐體進(jìn)行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉(zhuǎn)向架烘箱不應(yīng)越過溫度，否則會(huì)縮短設(shè)備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉(zhuǎn)向架上除去太多的氧化物。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。河南半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項(xiàng)行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。河南半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)需要升溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間加長，間斷時(shí)間減少；需要降溫時(shí)，燒嘴燃燒時(shí)間減少，間斷時(shí)間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時(shí)間的占空比實(shí)現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實(shí)現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場(chǎng)均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內(nèi)應(yīng)力及鑄件內(nèi)從在的殘余應(yīng)力而進(jìn)行的退火。河南半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力退火一般在稍高于再結(jié)晶溫度下進(jìn)行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十?dāng)z氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當(dāng)升高到六百五十?dāng)z氏度到七百五十?dāng)z氏度不等，退火時(shí)間與退火溫度有關(guān)。河南半導(dǎo)體外延生長爐為了防止去應(yīng)力退火后冷卻時(shí)再發(fā)生殘余應(yīng)力，應(yīng)緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

加熱元件采用高溫合金電阻帶經(jīng)特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運(yùn)行中的斷路現(xiàn)象。河南半導(dǎo)體外延生長爐退火爐的控溫系統(tǒng)采用多區(qū)PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動(dòng)智能調(diào)節(jié)輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。河南半導(dǎo)體外延生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達(dá)到正負(fù)三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達(dá)到百分之一百。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護(hù)膜，延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。河南半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。河南半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實(shí)際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強(qiáng)度。在使用硅碳棒的時(shí)候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運(yùn)行過程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。