臺車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結構，從而改善鋼的性能。武漢半導體外延生長爐熱處理可以顯著提高鋼的機械性能，延長機器零件的使用壽命。武漢半導體外延生長爐恰當的熱處理工藝可以消除鑄、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細化晶粒、消除偏析、降低內應力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺車式退火爐處理的均勻鋼的化學成分及組織，細化晶粒，調整硬度，并消除內應力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準備。生產上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應力退火等。

為去除工件塑性變形加工、切削加工或焊接造成的內應力及鑄件內從在的殘余應力而進行的退火。武漢半導體外延生長爐去應力退火一般在稍高于再結晶溫度下進行，鋼鐵材料一般在五百五十到六百五十攝氏度不等，熱模具鋼及高合金鋼可適當升高到六百五十攝氏度到七百五十攝氏度不等，退火時間與退火溫度有關。武漢半導體外延生長爐為了防止去應力退火后冷卻時再發生殘余應力，應緩冷至五百攝氏度出爐空冷，大截面工件需緩冷到三百攝氏度以下出爐空冷。?

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。武漢半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。武漢半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

操作管理混亂，經驗不足。武漢半導體外延生長爐一是裝料制度變更頻繁，且針對性不強，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動較大，鐵水溫度長期在一千四百五十攝氏度以下，硫超標事故經常發生；武漢半導體外延生長爐三是日常操作三班不統一且表現為；風量、風壓不統一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統一，壓差波動大，料線不統一，手動控制比較多，爐料落點難以規范，無規律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項管理精細化程度不夠，制度執行不力。