退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。河南半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。河南半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

完全燃燒：燃料中的全部可燃成分在空氣充足的情況下達到完全氧化，河南半導體外延生長爐燃燒產物中沒有游離的C及CO、H2、CH4等可燃成分。不完全燃燒：燃料中的可燃成分沒有完全氧化，燃燒產物中尚存在一些可燃成分，如游離的C及CO、H2、CH4等。空氣過剩系數：燃料完全燃燒需要供應一定量的空氣。河南半導體外延生長爐根據燃燒化學反應方程式計算出來的單位燃料完全燃燒時所需的空氣量為理論空氣量。實際供應的空氣量一般大于理論空氣量，稱為實際空氣量。實際空氣量與理論空氣量的比值稱為空氣過剩系數。一般氣體燃料的空氣過剩系數為1.05到1.15。

操作者應遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設備接地是否完好；河南半導體外延生長爐如發現電線隔緣皮有破損，定要立向車間領導報告阻止發生觸電事故河南半導體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統中是否有異常現象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉向架烘箱不應越過溫度，否則會縮短設備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉向架上除去太多的氧化物。

在鑄造加熱爐內，進步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴峻影響工件質量。在熱處理過程中，假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然冷卻，就能進步鋼的硬度和強度；河南半導體外延生長爐假如加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進步。河南半導體外延生長爐金屬或物料加熱時吸收的熱量與供入爐內的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續式爐比間斷式爐的熱效率高，因為連續式爐的出產率高，并且是不間斷作業的，爐子熱制度處于安穩狀態，沒有周期性的爐墻蓄熱丟失，還因為爐膛內部有一個預熱爐料的區段，煙氣有些余熱為因為爐膛內部有一個預熱爐料的區段，煙氣有些余熱為入爐的冷工件所吸收，下降了離爐煙氣的溫度。以完成爐溫、爐氣氛或爐壓的主動操控。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。河南半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。河南半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。