退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。沈陽半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。沈陽半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質高鋁節能保溫磚砌筑，結合硅酸鋁纖維棉復合爐襯保溫。沈陽半導體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側和爐底。沈陽半導體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。

臺車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結構，從而改善鋼的性能。沈陽半導體外延生長爐熱處理可以顯著提高鋼的機械性能，延長機器零件的使用壽命。沈陽半導體外延生長爐恰當的熱處理工藝可以消除鑄、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細化晶粒、消除偏析、降低內應力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺車式退火爐處理的均勻鋼的化學成分及組織，細化晶粒，調整硬度，并消除內應力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準備。生產上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應力退火等。

爐壁保溫襯里采用復合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統, 相關各爐況參數均實現自動化模糊控制，可靠性高且運行穩定。沈陽半導體外延生長爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運行及后期維護成本低廉的優點。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。沈陽半導體外延生長爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

該爐是供金屬機件、環件等在額定的溫度下進行熱處理設備簡介：本爐是由爐體與一個可移動的爐蓋及控制系統組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。沈陽半導體外延生長爐爐蓋支撐采用型鋼和導軌組合移動式。元件采用北京首鋼產的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。沈陽半導體外延生長爐爐蓋采用液壓升降，電機控制自動行走。溫控系統采用PID可控硅控制，精度高。

采用新型的燃燒技術，如脈沖燃燒技術、高溫空氣燃燒技術、富氧燃燒技術等。沈陽半導體外延生長爐脈沖燃燒技術是近年來開發的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負荷狀態。沈陽半導體外延生長爐當需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調節燃燒時間的占空比實現窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調整預先設定，無需在線調整，即可實現空氣過剩系數的控制。故脈沖燃燒技術傳熱效率高、能耗低、爐內溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。