經冷塑性變形加工的工件加熱到再結晶溫度以上，保持適當時間，通過再結晶使冷變形過程中產生的晶體學缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應和殘余應力的退火。上海半導體外延生長爐一般鋼材再結晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，上海半導體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質量分數小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結晶退火后易出現粗晶，因此應避免在該范圍內變形。

在鑄造加熱爐內，進步金屬的加熱溫度，能夠下降變形阻力，但溫度過高會引起晶粒長大、氧化或過燒，嚴峻影響工件質量。上海半導體外延生長爐在熱處理過程中，上海半導體外延生長爐假如把鋼加熱到臨界溫度以上的某一點，然后突然冷卻，就能進步鋼的硬度和強度；假如加熱到臨界溫度以下的某一點后緩慢冷卻，則又能使鋼的硬度下降而使韌性進步。金屬或物料加熱時吸收的熱量與供入爐內的熱量之比，稱為爐子熱效率。連續式爐比間斷式爐的熱效率高，因為連續式爐的出產率高，并且是不間斷作業的。

一般來講，鉬棒連續使用比斷續使用壽命要長得多，這是因為在硅鉬棒冷卻過程中損壞大。上海半導體外延生長爐如果當電熱裝置停止工作，應當保持裝置處于熱狀態上海半導體外延生長爐硅鉬棒運行的環境，硅鉬棒在氧化環境如空氣、氧、水汽或二氧化碳中時，硅鉬棒元件的壽命長，若硅鉬棒由于氧化層在冷卻時輕易剝落，使用前必須把元件重新氧化一次硅碳棒會隨著溫度變高，表面的氧化速度會越快，壽命會越短！在使用的過程中，盡量選擇并聯，這樣可以避免由于電阻負荷集中，造成損壞的情況

單位質量/體積的燃料完全燃燒，上海半導體外延生長爐當燃燒產物冷卻到燃燒前的溫度時所放出的熱量一般室溫25攝氏度。上海半導體外延生長爐依據燃燒產物中水蒸氣包括燃料中所含水生成的水蒸氣和燃料中的氫燃燒時生成的水蒸氣的不同形態，分為兩種發熱量：高溫發熱量、低位發熱量高位發熱量高位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產物中的水蒸汽全部凝結為液態水時所放出的熱量低位發熱量低位熱值：燃料完全燃燒，燃燒產物中的水蒸汽仍以氣態存在時所放出的熱量。