爐壁保溫襯里采用復(fù)合型耐溫材料模塊、全密封爐體配以進(jìn)口高精度溫控儀表為控制核心的集散式DCS系統(tǒng), 相關(guān)各爐況參數(shù)均實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化模糊控制，可靠性高且運(yùn)行穩(wěn)定。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐全爐密封效果好，與同類爐窯相比具有日常運(yùn)行及后期維護(hù)成本低廉的優(yōu)點(diǎn)。退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產(chǎn)煤氣退火爐應(yīng)用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉(zhuǎn)換為助燃熱風(fēng)進(jìn)行煤氣的助燃。

操作管理混亂，經(jīng)驗(yàn)不足。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐一是裝料制度變更頻繁，且針對(duì)性不強(qiáng)，尤其是中心焦炭沒有保證；二是爐溫控制偏低且波動(dòng)較大，鐵水溫度長(zhǎng)期在一千四百五十?dāng)z氏度以下，硫超標(biāo)事故經(jīng)常發(fā)生；連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐三是日常操作三班不統(tǒng)一且表現(xiàn)為；風(fēng)量、風(fēng)壓不統(tǒng)一，有的班開得高，有的班開得低，頂壓不統(tǒng)一，壓差波動(dòng)大，料線不統(tǒng)一，手動(dòng)控制比較多，爐料落點(diǎn)難以規(guī)范，無規(guī)律性；四是退火爐工藝管理粗放，考核不到位，高爐的各項(xiàng)管理精細(xì)化程度不夠，制度執(zhí)行不力。

將鑰匙開關(guān)打開，控制臺(tái)電源接通，電源指示燈和液壓系統(tǒng)指示燈亮。將開關(guān)撥到手動(dòng)位置，手動(dòng)系統(tǒng)電路接通。在不啟動(dòng)油泵的情況下，只能提升和關(guān)閉前、后爐門，或?qū)t門停留在任意位置上。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐通過按下前爐門旁控制柜和控制臺(tái)上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐在啟動(dòng)油泵的情況下，不僅可以完成不啟動(dòng)油泵情況下的功能外，還可以使推。拉桿工作，并可使推。拉桿停留在任意位置上，爐門升降、推，拉桿進(jìn)、退均不分前后次序，通過按下前，后爐門旁控制柜和控制臺(tái)上的按鈕，即可實(shí)現(xiàn)。前后爐門旁控制柜上的紅按鈕和控制臺(tái)上的鑰匙開關(guān)均為總停，一旦發(fā)現(xiàn)進(jìn)、出料情況異常，應(yīng)立即按下此按鈕或切斷控制電源，以避免或減少事故的發(fā)生。

箱式回火爐外殼由國(guó)標(biāo)鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐箱式回火爐的電熱元件為長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐門通過電動(dòng)或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時(shí)有斷路保護(hù)裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動(dòng)完成從進(jìn)爐到出爐的回火熱處理全過程。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產(chǎn)物量有關(guān)，熱值越高、燃燒產(chǎn)物量越低，燃燒溫度越高。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐空氣過剩系數(shù)：適當(dāng)?shù)目諝膺^剩系數(shù)，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會(huì)使燃燒溫度降低助燃風(fēng)中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產(chǎn)物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內(nèi)產(chǎn)品傳熱速度。

該爐是供金屬機(jī)件、環(huán)件等在額定的溫度下進(jìn)行熱處理設(shè)備簡(jiǎn)介：本爐是由爐體與一個(gè)可移動(dòng)的爐蓋及控制系統(tǒng)組成。爐體外殼采用型鋼及鋼板焊接而成。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐蓋支撐采用型鋼和導(dǎo)軌組合移動(dòng)式。元件采用北京首鋼產(chǎn)的高電阻合金0Cr25Al5布置在爐側(cè)。爐底由于承重采用高鋁磚砌筑，爐子中心采用大圈套小圈做法，里外加熱。連云港半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)爐爐蓋采用液壓升降，電機(jī)控制自動(dòng)行走。溫控系統(tǒng)采用PID可控硅控制，精度高。