調節閥可參考其關聯溫度判斷設備是否工作正常。若出現故障，先關閉電源控制柜內其工作電源，打開現場閥蓋，在確認閥內模塊不帶電的情況下，用內六方扳手旋轉閥體。浙江半導體生長爐若旋轉感覺很卡，則為機械故障，若感覺旋轉順暢，則為電氣故障。浙江半導體生長爐模擬量部分此處模擬量指溫度、壓力和流量等。除空氣總管壓力和煤氣總管壓力外，其余模擬量不參與控制。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產物量有關，熱值越高、燃燒產物量越低，燃燒溫度越高。浙江半導體生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。浙江半導體生長爐空氣過剩系數：適當的空氣過剩系數，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。

去應力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應力退火。浙江半導體生長爐去應力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉變，主要適用于毛坯件及經過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應力，穩定工件尺寸及形狀，浙江半導體生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。

箱式退火爐主要用途：主要用鋼制工件的淬火、正火、退火等常規熱處理之用的專用設備。浙江半導體生長爐箱式退火爐特點：電爐裝載量大、生產率高，特別適用于小、中型機件的熱處理加熱用，節能達30%，爐溫均勻，智能數顯表PID自動控制爐溫，精密高；電爐裝御料方便，操作條件好；爐門與爐體的密封為自動密封，無需人工密封；浙江半導體生長爐電爐設有連鎖保護裝置，可防止因誤操作而發生的故障及事故。

加熱元件采用高溫合金電阻帶經特殊加工成形，采用耐熱陶瓷螺釘固定，既保證絕緣又能保證加熱元件的快速散熱性，從而確保其使用壽命比一般廠家長二到三倍，并且杜絕其在運行中的斷路現象。浙江半導體生長爐退火爐的控溫系統采用多區PID智能控溫方法，利用可控硅三相過零觸法能自動智能調節輸出功率百分比，使溫度完全按照工藝編程指令要求。浙江半導體生長爐控溫精度小于等于一攝氏度，爐膛有效空間溫度均勻性達到正負三攝氏度，有效確保工件不過燒，不熔氧，又能力保證工件熱處理合格率達到百分之一百。