等溫式退火是應用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。山東半導體外延生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內，等溫保持直到奧氏體全部轉變?yōu)槠瑢訝钪楣怏w亞共析鋼還有先共析鐵素體；山東半導體外延生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

操作者應遵守臺車式退火爐，退火熱處理的操作規(guī)程，仔細檢查儀表、熱電偶、電氣設備接地是否完好；山東半導體外延生長爐如發(fā)現(xiàn)電線隔緣皮有破損，定要立向車間領導報告阻止發(fā)生觸電事故山東半導體外延生長爐檢查加熱元件是否損壞，連接之間的接觸是否良好，爐底板及電阻絲是否完好，是否與爐體和殼體接觸。檢查溫度控制系統(tǒng)中是否有異常現(xiàn)象。檢查爐門升降情況，臺車運行正常。嚴禁腐蝕性、揮發(fā)性和爆裂性氣體進入臺車式退火爐的爐體進行加工，以免影響退火爐的發(fā)熱元件和耐火材料的使用壽命，并引起爆裂事故。轉向架烘箱不應越過溫度，否則會縮短設備的使用壽命。在清潔爐之前，從轉向架上除去太多的氧化物。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結晶溫度以上，保持適當時間，通過再結晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應和殘余應力的退火。山東半導體外延生長爐一般鋼材再結晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，山東半導體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應避免在該范圍內變形。

降低硬度，改善切削加工性。消除殘余應力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒調整組織，消除組織缺陷。山東半導體外延生長爐均勻材料組織和成分，改善材料性能或為以后熱處理做組織準備。山東半導體外延生長爐在生產(chǎn)中，退火工藝應用很廣泛。根據(jù)被加工金屬件對退火的不同需求，退火的工藝規(guī)范有多種，常用的有完全退火、球化退火、和去應力退火等。

通過風機的循環(huán)使退火爐的爐腔內溫度分布均勻，退火爐的兩個爐腔室是可以獨自運行的，提高了退火效率，每個爐腔內都有兩臺風機，卻沒有空氣過濾裝置，跟實際情況有出入。山東半導體外延生長爐通過風機循環(huán)使爐內溫度分布均勻，通過熱處理重組薄膜材料微觀結構，提高穩(wěn)定性及轉化效率。山東半導體外延生長爐將鑄件加熱到九百五十攝氏度左右 ，保溫一定時間后適當冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內應力。對于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內應力。