目前等直徑硅碳棒的生產(chǎn)工藝有兩種，老工藝與新工藝，區(qū)別方法在與從燒結(jié)方式上。南京半導(dǎo)體外延生長爐老工藝采用的是埋藏反應(yīng)燒結(jié)，新工藝采用的是高溫真空爐燒結(jié)。由于埋藏?zé)菩枰妹海瑢Νh(huán)境有一定的污染，好多都已取締，大多采用新工藝制作。南京半導(dǎo)體外延生長爐比如在鋁廠，玻璃廠，釩氮合金，反光材料產(chǎn)品燒結(jié)中會產(chǎn)生一定的腐蝕氣體，老工藝比新工藝元件的耐腐蝕性要好。等直徑硅碳棒元件是很高的純度以碳化硅為主要原料，加入工業(yè)硅，碳粉等材料。經(jīng)過成型，烘干，高溫?zé)Y(jié)等多道工序而制成的一種非金屬棒狀高溫電熱元件。

采用新型的燃燒技術(shù)，如脈沖燃燒技術(shù)、高溫空氣燃燒技術(shù)、富氧燃燒技術(shù)等。南京半導(dǎo)體外延生長爐脈沖燃燒技術(shù)是近年來開發(fā)的一項行之有效的降低氮氧化合物的技術(shù)，燒嘴采用間斷燃燒的方式，一旦工作，就處于滿負(fù)荷狀態(tài)。南京半導(dǎo)體外延生長爐當(dāng)需要升溫時，燒嘴燃燒時間加長，間斷時間減少；需要降溫時，燒嘴燃燒時間減少，間斷時間加長。通過調(diào)節(jié)燃燒時間的占空比實現(xiàn)窯爐的溫度控制，燃料流量可通過壓力調(diào)整預(yù)先設(shè)定，無需在線調(diào)整，即可實現(xiàn)空氣過剩系數(shù)的控制。故脈沖燃燒技術(shù)傳熱效率高、能耗低、爐內(nèi)溫度場均勻性好，這些均有利于減少氮氧化合物的生成。

均勻化退火又稱擴散退火。南京半導(dǎo)體外延生長爐應(yīng)用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。南京半導(dǎo)體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發(fā)生固態(tài)擴散，來減輕化學(xué)成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內(nèi)的化學(xué)成分不均勻性晶內(nèi)偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

臺車式退火爐是通過熱處理可以改變鋼的組織結(jié)構(gòu)，從而改善鋼的性能。南京半導(dǎo)體外延生長爐熱處理可以顯著提高鋼的機械性能，延長機器零件的使用壽命。南京半導(dǎo)體外延生長爐恰當(dāng)?shù)臒崽幚砉に嚳梢韵T、鍛、焊等熱加工工藝造成的各種缺陷，細(xì)化晶粒、消除偏析、降低內(nèi)應(yīng)力，使鋼的組織和性能更加均勻。臺車式退火爐處理的均勻鋼的化學(xué)成分及組織，細(xì)化晶粒，調(diào)整硬度，并消除內(nèi)應(yīng)力和加工硬化，改善鋼的切削加工性能并為隨后的淬火作好組織準(zhǔn)備。生產(chǎn)上常用的退火操作有完全退火、等溫退火、球化退火、去應(yīng)力退火等。