等溫式退火是應用于鋼和某些非鐵合金如鈦合金的一種控制冷卻的退火方法。上海半導體生長爐對鋼來說，是緩慢加熱到 Ac3亞共析鋼或 Ac1共析鋼和過共析鋼以上不多的溫度，保溫一段時間，使鋼奧氏體化，然后迅速移入溫度在A1以下不多的另一爐內，等溫保持直到奧氏體全部轉變為片層狀珠光體亞共析鋼還有先共析鐵素體；上海半導體生長爐過共析鋼還有先共析滲碳體為止，最后以任意速度冷卻下來通常是出爐在空氣中冷卻。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時也進行球化退火。上海半導體生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據具體情況進行選擇。在稍低于Ar1溫度長時間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區間循環加熱和冷卻。上海半導體生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時間再冷卻到室溫。對過共析鋼，先進行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時間保溫進行球化退火。

例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區，即相變溫度區間。上海半導體生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變為β相的細小晶粒；上海半導體生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。

結構：退火爐爐門采用輕型鋼結構骨架，耐火纖維做隔熱保溫材料2.爐門提升動力：爐門采用電動升降，電動葫蘆裝在爐門龍門架上方。上海半導體生長爐爐門密封：本爐門采用特殊彈簧與凸輪機構自動壓緊和軟邊密封裝置，可使爐門與爐體自動壓緊，確保爐子在生產過程中始終處于密封狀態，杜絕了高溫爐氣的外逸，改善了工作環境，保證了爐溫均勻性，增強節能效果。這種爐門密封裝置結構簡單，安全可靠，維修方便。上海半導體生長爐這種機構在近幾年生產的全纖維棉臺車爐中使用效果很好。