不完全退火不完全退火是將鐵碳合金加熱到Ac1-Ac3之間溫度，達到不完全奧氏體化，隨之緩慢冷卻的退火工藝。不完全退火主要適用于中、高碳鋼和低合金鋼鍛軋件等，其目的是細化組織和降低硬度，保溫后緩慢冷卻。河南半導(dǎo)體外延生長爐完全退火重結(jié)晶退火完全退火應(yīng)用于平衡加熱和冷卻時有固態(tài)相變(重結(jié)晶)發(fā)生的合金。河南半導(dǎo)體外延生長爐其退火溫度為各該合金的相變溫度區(qū)間以上或以內(nèi)的某一溫度。加熱和冷卻都是緩慢的。合金于加熱和冷卻過程中各發(fā)生一次相變重結(jié)晶，故稱為重結(jié)晶退火，常被簡稱為退火。

首先，硅碳棒加熱后形成濃密的氧化硅膜，從而生成抗氧化保護膜，延長了硅碳棒的壽命。在使用硅碳棒的過程中，可以使用涂層用于氣體的爐內(nèi)。河南半導(dǎo)體外延生長爐來防止硅碳棒的裂化，其次在使用硅碳棒的過程中，硅碳棒表面的溫度越高，表示硅碳棒的電流量越大。一般硅碳棒的有效發(fā)熱長度在攝氏度以內(nèi)。河南半導(dǎo)體外延生長爐硅碳棒表面的實際功率是由于爐的內(nèi)溫度和硅碳棒表面的溫度決定的。硅鉬棒電流強度。在使用硅碳棒的時候，供電線與元件間必須有良好的接觸，避免電阻發(fā)熱過多從而造成燒毀接線。由于硅鉬棒運行過程中熱膨脹而造成電源線松弛，應(yīng)在使用前把電源線接頭擰緊。

箱式回火爐外殼由國標鋼板和型鋼焊接制造，爐襯采用輕質(zhì)高鋁節(jié)能保溫磚砌筑，結(jié)合硅酸鋁纖維棉復(fù)合爐襯保溫。河南半導(dǎo)體外延生長爐箱式回火爐的電熱元件為長壽命設(shè)計、耐高溫高合制成，布置在爐膛兩側(cè)和爐底。河南半導(dǎo)體外延生長爐爐門通過電動或液壓升降，小型箱式回火爐也可使用手搖爐門，爐門開啟時有斷路保護裝置停止送電加熱。采用微電腦溫度控制系統(tǒng)來高精度控制，回火工藝，全自動完成從進爐到出爐的回火熱處理全過程。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。河南半導(dǎo)體外延生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，河南半導(dǎo)體外延生長爐保溫一到三個小時空冷，對含質(zhì)量分數(shù)小于百分之零點二的普通碳鋼，在冷變形時臨界變形速度若達百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

去應(yīng)力退火是將工件加熱到Ac1以下的適當(dāng)溫度非合金鋼在五百到六百攝氏度，保溫后隨爐冷卻的熱處理工藝稱為去應(yīng)力退火。河南半導(dǎo)體外延生長爐去應(yīng)力加熱溫度低，在退火過程中無組織轉(zhuǎn)變，主要適用于毛坯件及經(jīng)過切削加工的零件，目的是為了消除毛坯和零件中的殘余應(yīng)力，穩(wěn)定工件尺寸及形狀，河南半導(dǎo)體外延生長爐減少零件在切削加工和使用過程中的形變和裂紋傾向。