退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時(shí)間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；吉林半導(dǎo)體外延生長爐消除殘余應(yīng)力，穩(wěn)定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細(xì)化晶粒，調(diào)整組織，消除組織缺陷。吉林半導(dǎo)體外延生長爐準(zhǔn)確的說，退火是一種對(duì)材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統(tǒng)金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設(shè)備是退火爐。

例如鈦合金于加熱和冷卻時(shí)發(fā)生同素異構(gòu)轉(zhuǎn)變，低溫為α相密排六方結(jié)構(gòu))，高溫為β相體心立方結(jié)構(gòu)，其中間是“α+β”兩相區(qū)，即相變溫度區(qū)間。吉林半導(dǎo)體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩(wěn)定組織和細(xì)化晶粒，也進(jìn)行重結(jié)晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區(qū)間不多的溫度，保溫適當(dāng)時(shí)間，使合金轉(zhuǎn)變?yōu)棣孪嗟募?xì)小晶粒；吉林半導(dǎo)體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉(zhuǎn)變?yōu)棣料嗷颚?β兩相的細(xì)小晶粒。

經(jīng)冷塑性變形加工的工件加熱到再結(jié)晶溫度以上，保持適當(dāng)時(shí)間，通過再結(jié)晶使冷變形過程中產(chǎn)生的晶體學(xué)缺陷基本消失，重新形成均勻的等軸晶粒，以消除變形強(qiáng)化效應(yīng)和殘余應(yīng)力的退火。吉林半導(dǎo)體外延生長爐一般鋼材再結(jié)晶退火溫度在六百攝氏度到七百攝氏度之間不等，吉林半導(dǎo)體外延生長爐保溫一到三個(gè)小時(shí)空冷，對(duì)含質(zhì)量分?jǐn)?shù)小于百分之零點(diǎn)二的普通碳鋼，在冷變形時(shí)臨界變形速度若達(dá)百分之六到百分之十五的范圍，則再結(jié)晶退火后易出現(xiàn)粗晶，因此應(yīng)避免在該范圍內(nèi)變形。

化退火主要用于的各種高碳工具鋼、模具鋼、軸承鋼。低中碳鋼為了改變冷變形工藝性，有時(shí)也進(jìn)行球化退火。吉林半導(dǎo)體外延生長爐球化退火的方式主要有以下幾種，可根據(jù)具體情況進(jìn)行選擇。在稍低于Ar1溫度長時(shí)間保溫。在稍高于Ac1或稍低于Ar1溫度區(qū)間循環(huán)加熱和冷卻。吉林半導(dǎo)體外延生長爐加熱到高于Ac1溫度，然后以極慢的冷速爐冷或在pp稍低于Ar1溫度保溫較長時(shí)間再冷卻到室溫。對(duì)過共析鋼，先進(jìn)行奧氏體化使碳化物充分分解加熱溫度選擇在保證碳化物溶解的下限，隨后以加高速度冷卻以防止網(wǎng)狀碳化物析出工件在一定溫度下變形，然后在低于Ac1溫度長時(shí)間保溫進(jìn)行球化退火。

風(fēng)溫水平降低、噴煤效果差5號(hào)高爐風(fēng)溫一直在1200℃以上，但2011年12月至2012年3月由于1號(hào)高爐擴(kuò)容改造造成系流煤氣嚴(yán)重不足，甚至熱風(fēng)爐燒爐都不能保證，熱風(fēng)溫度下降100℃以上，同時(shí)5號(hào)高爐不能富氧，造成噴煤效果變差，惡化爐缸工作。吉林半導(dǎo)體外延生長爐無計(jì)劃的頻繁休風(fēng)2012年元月12日，退火爐高爐爐況向涼，風(fēng)口全部灌死，休風(fēng)10小時(shí)。2012年元月19日，4號(hào)、10號(hào)風(fēng)口二套燒壞，爐內(nèi)大量進(jìn)水，休風(fēng)6小時(shí)處理。吉林半導(dǎo)體外延生長爐2012年元月28日，南料車鋼絲繩拉斷，休風(fēng)12小時(shí)處理，頻繁的無計(jì)劃休風(fēng)，加劇了爐況的惡化。