通過風機的循環使退火爐的爐腔內溫度分布均勻，退火爐的兩個爐腔室是可以獨自運行的，提高了退火效率，每個爐腔內都有兩臺風機，卻沒有空氣過濾裝置，跟實際情況有出入。浙江半導體外延生長爐通過風機循環使爐內溫度分布均勻，通過熱處理重組薄膜材料微觀結構，提高穩定性及轉化效率。浙江半導體外延生長爐將鑄件加熱到九百五十攝氏度左右 ，保溫一定時間后適當冷卻，用以消除鋼鐵鑄件和焊接件的內應力。對于鋼鐵制品加熱后開始形成奧氏體的溫度以下一百到二百攝氏度，保溫后在空氣中冷卻，即可消除內應力。

均勻化退火又稱擴散退火。浙江半導體外延生長爐應用于鋼及非鐵合金如錫青銅、硅青銅、白銅、鎂合金等的鑄錠或鑄件的一種退火方法。將鑄錠或鑄件加熱到各該合金的固相線溫度以下的某一較高溫度，長時間保溫，然后緩慢冷卻下來。浙江半導體外延生長爐均勻化退火是使合金中的元素發生固態擴散，來減輕化學成分不均勻性偏析，主要是減輕晶粒尺度內的化學成分不均勻性晶內偏析或稱枝晶偏析。均勻化退火溫度所以如此之高，是為了加快合金元素擴散，盡可能縮短保溫時間

若快切閥顯示為黃色，換向閥顯示為紅色X，即是行程不到位，檢查行程是否脫離設備，若無脫離，可打開行程開關，檢查行程內凸輪是否出現不到位情況，適當調整使之弧度處壓上彈簧片即可。浙江半導體外延生長爐若快切閥或換向閥顯示為紅色或綠色之一，可判定其行程正常，排查重點在動作部分。檢查動作部分時，先于現場觀察電磁閥兩插頭是否有一個亮燈，若兩個都不亮，則為電氣故障。浙江半導體外延生長爐然后，若有一個亮，可把兩插頭取下，用亮的插頭在兩個電磁閥插座上輪流插拔試驗，若汽缸不動作，則為機械故障。若汽缸動作，則為電氣故障。

球化退火只應用于鋼的一種退火方法。浙江半導體外延生長爐將鋼加熱到稍低于或稍高于Ac1的溫度或者使溫度在A1上下周期變化，然后緩冷下來。浙江半導體外延生長爐目的在于使珠光體內的片狀滲碳體以及先共析滲碳體都變為球粒狀，均勻分布于鐵素體基體中這種組織稱為球化珠光體。具有這種組織的中碳鋼和高碳鋼硬度低、被切削性好、冷形變能力大。對工具鋼來說，這種組織是淬火前的原始組織。