例如鈦合金于加熱和冷卻時發生同素異構轉變，低溫為α相密排六方結構)，高溫為β相體心立方結構，其中間是“α+β”兩相區，即相變溫度區間。南京半導體外延生長爐為了得到接近平衡的室溫穩定組織和細化晶粒，也進行重結晶退火，即緩慢加熱到高于相變溫度區間不多的溫度，保溫適當時間，使合金轉變為β相的細小晶粒；南京半導體外延生長爐然后緩慢冷卻下來，使β相再轉變為α相或α+β兩相的細小晶粒。

燃料種類：與燃料熱值及燃燒的產物量有關，熱值越高、燃燒產物量越低，燃燒溫度越高。南京半導體外延生長爐燃料和助燃空氣的溫度：它們的溫度越高，直接帶入的顯熱越多，可提高燃燒溫度。南京半導體外延生長爐空氣過剩系數：適當的空氣過剩系數，可以保證有較高的燃燒溫度。一般α略大于1過小，不完全燃燒；過大生成的煙氣量多，會使燃燒溫度降低助燃風中氧氣的濃度：提高氧氣濃度，將使燃燒產物減少，可以提高燃燒溫度。爐體散熱狀況及爐內產品傳熱速度。

退火爐采用金屬熱處理退火工藝，將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。南京半導體外延生長爐目的是降低硬度，改善切削加工性；消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。南京半導體外延生長爐使經過鑄造、鍛軋、焊接或切削加工的材料或工件軟化，改善塑性和韌性，使化學成分均勻化，去除殘余應力，或得到預期的物理性能。鑄件在冷卻過程中，積累了大量的內應力，要通過退火爐來消除內應力。

退火是一種金屬熱處理工藝，指的是將金屬緩慢加熱到一定溫度，保持足夠時間，然后以適宜速度冷卻。目的是降低硬度，改善切削加工性；南京半導體外延生長爐消除殘余應力，穩定尺寸，減少變形與裂紋傾向；細化晶粒，調整組織，消除組織缺陷。南京半導體外延生長爐準確的說，退火是一種對材料的熱處理工藝，包括金屬材料、非金屬材料。而且新材料的退火目的也與傳統金屬退火存在異同。在熱處理工藝中退火的常用設備是退火爐。

將工件完全奧氏體化后緩慢冷卻，接近平衡組織的退火。完全退火奧氏體化溫度一般選為Ac3加三十攝氏度到五十攝氏度，對于某些高合金鋼，為使碳化物固溶應適當提高奧氏體化溫度。為了改善低碳鋼的切削性能，可采用九百攝氏度到一百攝氏度的晶粒粗化退火。為了消除亞共析鋼鍛件、鑄件、焊接件的粗大魏氏組織，需將奧氏體化溫度提高到一千一百攝氏度到一千兩百攝氏度，隨后補充進行常規完全退火。?